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XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)

  • 简单描述
  • Z适合于检测半导体特气的微量泄漏。
    采用声光报警。
  • 更新时间:  2017-07-26
  • 产品型号:  
详细介绍

XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)

于检测半导体特气的微量泄漏。
 采用声光报警。

XP-703D半导体特气检漏仪(自动吸引式)技术参数:

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度 
(单位:ppm)

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内


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