激光尘埃粒子计数器在无尘车间的使用

浏览次数：1176发布日期：2020-07-17

　　激光尘埃粒子计数器是新一代触摸屏便携式尘埃粒子计数器，仪器采用彩色触摸屏，外形美观大气，机身采用铝合金材料，表面喷细砂银灰色处理，小巧轻便；采用直流气泵，连续工作稳定，超低噪音，节能环保；内置进口数字流量传感器，采样流量动态准确控制；供电可使用交流供电，也可使用内置的大容量锂电池供电，方便应用于无交流电场所的移动检测。仪器是目前药厂，电子厂快速检测洁净室洁净度的首要之选，其主要应用范围包括：

　　洁净室（区）洁净度的测试；

　　电子厂、药厂洁净室的日常维护监测；

　　高浓度气溶胶的测量；

　　空气中悬浮粒子的测量。

　　集成电路制造业是需要在一个超净环境中进行的，它是使用超纯材料进行超精细加工的行业。集成电路制造对洁净室环境的控制有严格的要求，不同的工艺对清洁度有不同的要求。

　　半导体集成电路在生产过程中会接触到很多污染物，比如无机离子、有机物质、微生物、气体杂质等等。另外，不适当的温度、湿度、光照、静电超标、电磁噪声、空气噪声和微振动也是特殊的污染物。当颗粒杂质、无机离子、有机物质、微生物和气体杂质的含量超过一定限度时，集成电路产品会出现表面划伤、图形断裂、短路、针孔、脱皮等现象。导致电路泄漏和异常电气特性，轻则影响电路性能和使用寿命，重则导致电路报废。

　　鉴于此需要使用激光尘埃粒子计数器来对半导体集成电路生产车间的环境进行监测，保证产品生产环境达到洁净标准，尘埃粒子计数器配置简单，可从一个仪器转移到另一个仪器，易于清洁和擦拭与小的粒子陷阱，多功能安装选项，无缝集成到设备监控系统。

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